印刷电路板上的能量采集器
联盟也将开发氮化铝(AlN)调频MEMS惯性测量单元,包含一个3轴加速度计、一个3轴陀螺仪和一个压力传感器,以及氮化铝惯性工艺流程平台和工艺设计套件。与现有MEMS传感器相比,氮化铝MEMS惯性传感器拥有诸多优势,如抗噪、高精度、更好的线性度以及更简单的读出电路设计。凭借更低的成本和更小的封装尺寸,氮化铝MEMS惯性传感器将更符合工业级性能需求。
消费类、汽车和工业领域对传感器器件的需求不断增长,传感器行业将面临更复杂的挑战,需要开发具有更多先进功能、更小封装尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和传感器技术的研发对解决上述挑战而言至关重要,也能为各类应用对MEMS器件的大规模采用铺平道路。预计到2018年,全球MEMS市场规模将超过220亿美元。
358 MHz氮化铝MEMS振荡器
IME及其工业合作伙伴在MEMS第二联盟(MEMS Consortium II)成功开发了具有先进功能并可以量产的MEMS器件,例如一款能量采集器、一款振荡器和一款磁力计。
IME的执行董事Dim-Lee Kwong教授表示:“IME在MEMS技术领域所取得的成绩与产业合作密不可分,充分体现了开放式创新对科技进步的驱动作用。我们将研发与产业经验相结合,开发出成本经济的创新型技术解决方案,并将驱动新一代电子器件实现大批量生产和商业化。”
本文转自d1net(转载)
时间: 2024-11-01 11:27:52